導入実績・パフォーマンス紹介
| 塗布材料 | 基板種類 | 材料情報 | 塗布厚み | 塗布均一性 |
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Proprietary SM OLED |
Glass |
4-6% Solids, 4-15cps |
20nm (.02 μm) |
3-4% |
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Perovskite solution |
PV Glass |
PVK typical |
400-800nm |
2.0-5% |
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PEDOT /HIL |
Glass |
2-5% |
60nm-200nm(0.06-0.2 μm) |
3% |
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Proprietary Polyimide |
Stainless Steel-.003" |
35% Solids,300-1800cps |
0.97-7.0 μm |
3-4% |
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DuPont 2611 Polyimide |
Glass |
13.5% Solids, 130 poise |
5 -25 μm |
3% |
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Arch 115A Polyimide |
Wafer-300mm |
14.7% Solids,7574cs |
13.2 μm |
1.5% |
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AZ SR110 Resist |
Glass |
11% Solids, 4cps |
1.5 μm |
2.8% |
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AZ4620 Resist |
Glass |
42% Solids, 360 cps |
54 μm |
3% |
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AZ4400 Resist |
Wafer -300mm |
37.2% Solids, 140csp |
10.3 μm |
1.8% |
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PI/ PS PI |
FOPLP 515*510mm |
300CP |
35 μm |
2-4% |
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Aqueous Dispersion |
Glass |
2 -5 μm particles |
5 - 10 μm |
3.4% |
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Arch 7520 Durimide |
Wafer -150mm |
41% Solids, 6600cps |
20.7 μm |
2.6% |
ペロブスカイト単接合パネル300x300mm
Target 膜厚均一性:±3%(端部10mm除外) @550-600nm
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| Point | 1 | 2 | 3 | 4 | 5.. | 11 | 12 | 13 | 14.. | 20 | 21 | 22 | 23 | 24 | 25 | U±%<=±5% |
| 1th | 33729.86 | 33550.13 | 34003.63 | 33946.63 | 33969.39 | 35143.08 | 35284.46 | 34590.94 | 34971.96 | 35335.82 | 34977.29 | 35143.52 | 34739.69 | 35055.85 | 35092.58 | 2.58 |
| 2th | 33835.5 | 34045.97 | 33864.32 | 34106.05 | 34356.8 | 35493.11 | 35281.98 | 34960.62 | 35187.18 | 35503.06 | 34928.24 | 35060.56 | 34764.14 | 35004.57 | 35017.96 | 2.40 |
| 3th | 33564.86 | 33905.81 | 33527.97 | 33965.89 | 33545.82 | 35075.69 | 35156.78 | 34982.24 | 35253.58 | 35445.06 | 35175.23 | 35010.89 | 34571.7 | 34961.03 | 34977.98 | 2.77 |
| 4th | 34229.85 | 34824.36 | 33441.72 | 34451.48 | 34393.91 | 35169.15 | 35627.81 | 34910.8 | 36096.78 | 35358.42 | 35191.76 | 35689.94 | 35067.53 | 36092.22 | 35164.62 | 3.79 |
| 5th | 34092.29 | 34157.77 | 34357.56 | 34036.38 | 33531.82 | 34956.5 | 35242.62 | 34563.61 | 35160.99 | 35176.62 | 35076.41 | 35010.89 | 34647.02 | 35153.42 | 34934.96 | 2.47 |
APSの先進ディスプレイ向け新型ウェットコーティング装置は、主要ディスプレイメーカーにおいて新規ディスプレイ材料向け装置として採用されています。実際の顧客量産ラインにおいて長期間の運転検証が行われ、その性能は顧客基準を十分に満たすことが確認されています。
またAPSは、複数のパネルメーカーと連携し、感光性ポリイミド(PSPI)、フォトレジスト、ポリイミド（PI）などの先端コーティング材料の評価試験を実施しており、その性能は海外製装置と同等レベルであることが実証されています。
さらにAPSの研究開発部門では、量子ドットや電子ペーパー（E-paper）といった次世代ディスプレイ技術向けの特殊材料についても検証を行っており、いずれも新しいコーティング技術に求められるプロセス要件を十分に満たす結果を得ています。
液晶ディスプレイにおけるCF（カラーフィルター）工程、TFT(薄膜トランジスタ)工程は、主にスロットコーティング技術および装置を用いて実施されています。
APSは複数のテストセンターを顧客のために準備しています。詳細は営業までお問い合わせください
