Alpha Precision Systems Inc.（APS）とVON ARDENNE GmbHは、VON ARDENNEの真空成膜装置(スパッタリング、蒸着機)をAPSの提案に組み込み、ペロブスカイト太陽電池の製造向けにターンキーラインを提供するため、協業します。今回の協業では、溶液プロセス、スロットダイ塗工、乾燥およびライン全体の統合に関するAPSの専門性と、真空成膜技術および産業規模のコーティングシステムに関するVON ARDENNEの豊富な経験を組み合わせます。

APSは、ペロブスカイト太陽電池セルおよびモジュール向けの装置とターンキー製造ソリューションを開発しており、研究開発・パイロット規模のシステムから、より大規模な生産ラインまでをカバーするプラットフォームを展開しています。製品群は、洗浄、レーザー加工、スロットダイ塗工、真空乾燥、熱処理、真空成膜、ALD、封止、評価、ライン自動化など、主要な製造工程を網羅しています。

VON ARDENNEは、スパッタリングや蒸着を含む真空コーティング技術に加え、研究開発から産業生産までを対象とする真空コーティングシステムの設計・スケールアップに豊富な経験を有しています。近年は、特に欧州の研究開発施設で確固たるプレゼンスを築き、ペロブスカイト太陽電池の開発を積極的に支援しています。

「両社の協業により、APSのターンキー提案における真空成膜工程が強化されます。また、両社がそれぞれ有する技術と経験を組み合わせることで、技術基盤を一から構築するのではなく、統合型の製造プラットフォームを実現できます」と、APSのCEO、Miguel Friedrichは述べています。

米国向けペロブスカイト案件を2027年に納入予定

VON ARDENNEの真空成膜システムを組み込むAPSの米国初の案件は、300 × 300 mmのパイロットラインです。2027年の納入を予定しています。このラインは、ペロブスカイトのプロセス開発、デバイス最適化、製造スケールアップのためのプラットフォームとなります。また、溶液プロセスと真空成膜プロセスを一貫した生産コンセプトのもとで統合します。

両社は、本協業がさまざまな生産規模の将来のプロジェクトを支援すると見込んでいます。ペロブスカイトの製造事業者や開発者に対し、プロセス開発からパイロット生産、さらには産業規模の製造へと進むための、より統合された道筋を提供することを目指します。

顧客のデバイス構造、プロセスフロー、基板サイズ、必要な処理能力に応じて、APSは湿式塗工、乾燥、熱処理に真空成膜などの主要プロセス技術を組み合わせたターンキーソリューションを構成できます。

Alpha Precision Systems Inc.（APS）について
Alpha Precision Systems Inc.は、ペロブスカイト太陽電池、半導体パッケージング、その他の先端薄膜用途向けに、コア技術の精密スロットダイ塗工、真空乾燥、熱処理および統合型製造ソリューションを開発しています。APSは、300 × 300 mmの研究開発・パイロットシステムから、より大規模な生産向けターンキーラインまで、ペロブスカイト製造プラットフォームを提供しています。プロセス装置、自動化、プロセス支援を統合しています。

公式ウェブサイト：https://alphaps.co/

VON ARDENNE GmbHについて
VON ARDENNEは、真空コーティング装置、コンポーネント、プロセスソリューションを専門とするドイツのハイテク企業です。同社は、研究開発から大量生産まで幅広い用途に対応するコーティングシステムを開発しており、太陽電池をはじめとする先端薄膜用途向けの真空成膜技術に豊富な経験を有しています。

＜APSのペロブスカイト・ターンキー生産ライン＞

＜ペロブスカイトパネルの構造（PIN型）＞